Vor Kurzem lieferte MANST seine erste intelligente Schleuderbeschichtungsanlage für Display-Panels erfolgreich an einen führenden Kunden aus der Display-Panel-Branche. Die Lieferung umfasst Schleuderbeschichtungsanlagen, Flächenbeschichtungsanlagen, EBR-Kantensäuberungsanlagen, VCD-Anlagen sowie zugehörige Ausrüstung. Diese Auslieferung zeugt nicht nur erneut von der Anerkennung der technischen Kompetenz des Unternehmens im Bereich Präzisionsbeschichtungsanlagen für Display-Panels durch führende Branchenkunden, sondern erweitert zudem das Produktportfolio von MANST im Segment hochwertiger Ausrüstung für den erweiterten Halbleitersektor.

Angesichts der Anforderungen der Display-Panel-Branche in der Forschungsphase – vielfältige Materialsysteme, häufige Validierung von Prozessfenstern und hohe Anforderungen an die Dünnschichtgleichmäßigkeit – hat MANST auf Grundlage langjähriger Erfahrung im Bereich der Präzisionsbeschichtung eine kombinierte Lösung aus Schleuderbeschichtung und EBR-Kantensäuberung entwickelt. Diese liefert zuverlässige Ausrüstung für die Prozessentwicklung neuartiger Display-Panels.

01 Drei zentrale Vorteile zur Unterstützung der Prozessentwicklung

Als eine der zentralen Ausrüstungen dieser Lieferung ist die Schleuderbeschichtungsanlage hauptsächlich für Forschungsanwendungen im Bereich Display-Panels und Halbleiter konzipiert. Sie unterstützt die Beschichtung mit verschiedenen Arten von Fotolacken und erfüllt die Anforderungen der Prozessentwicklung und -validierung.

Hochpräzise Beschichtung, Kompatibilität mit zahlreichen Materialien

Die Anlage verfügt über eine hochpräzise geschlossene Servosteuerung. Die Gleichmäßigkeit innerhalb eines Substrats sowie zwischen einzelnen Substraten beträgt ≤ 2 %. Sie ermöglicht Schichtdicken im Bereich von 0,5 bis 50 μm, ist kompatibel mit Fotolacken und diversen Prozessflüssigkeiten und deckt somit Entwicklungsanforderungen von extrem dünnen bis dicken Schichten ab. Manuelle, halbautomatische und vollautomatische Betriebsmodi sind möglich, wodurch Forschungseffizienz und Flexibilität deutlich gesteigert werden.

Präzise Flüssigkeitssteuerung zur Gewährleistung einer stabilen Prozessführung

Für Flüssigkeiten mit Viskositäten von 0 bis 3000 cP ist ein automatisches Mehrdüsen-Umschaltsystem integriert, das einen schnellen Materialwechsel ermöglicht. Vom Vorratsbehälter bis zu den Förderleitungen erfolgt eine geschlossene Temperatursteuerung über den gesamten Prozess mit einer Temperaturstabilität von ±0,2 °C. Dadurch bleibt die Viskosität der Flüssigkeit konstant, und die Gleichmäßigkeit sowie Wiederholbarkeit der Beschichtung verbessern sich.

Die gleichzeitig ausgelieferte EBR-Kantensäuberungsanlage verfügt über eine Kantensäuberungsbreite von 2 bis 3 mm mit einer Genauigkeit von ±0,3 mm. Sie reduziert wirksam Materialansammlungen am Substratrand und schafft optimale Substratbedingungen für nachfolgende Prozesse wie Belichtung und Klebung.

Intelligentes Prozessmanagement zur Unterstützung der digitalen Forschung

Das System unterstützt die Verwaltung und den schnellen Abruf zahlreicher Prozessrezepte, um die Validierung unterschiedlicher Materialsysteme und Prozessfenster durchzuführen. Wichtige Prozessparameter werden in Echtzeit überwacht, sämtliche Prozessdaten werden aufgezeichnet und rückverfolgbar gespeichert. Es ist kompatibel mit dem OPC-Protokoll und ermöglicht die Vernetzung mit MES-Systemen sowie vor- und nachgeschalteten Anlagen. Damit bildet es die Grundlage für die Prozessoptimierung und intelligente Fertigung.

Die gleichzeitig gelieferten Flächenbeschichtungsanlagen und VCD-Anlagen werden bereits bei mehreren führenden Kunden stabil betrieben. Ihre Produktleistung und Prozesszuverlässigkeit wurden in zahlreichen Projekten validiert. In Kombination mit den Schleuderbeschichtungsanlagen ermöglichen sie eine effiziente Validierung zentraler Forschungsprozesse und steigern somit die Gesamteffizienz der Forschungsplattform.

02 Professionelle Projektabwicklung zur Unterstützung der Forschungsvalidierung

Von der Projektinitiierung bis zur Auslieferung orientierte sich das Projektteam von MANST stets an den Kundenanforderungen. Es koordinierte die Prozessanpassung, Anlagenintegration, Montage, Inbetriebnahme sowie technische Schulungen.

Unter Berücksichtigung der Anforderungen an Forschungsanlagen bezüglich Prozessstabilität, Materialkompatibilität und Datenmanagement optimierte das Team kontinuierlich die Lösungen und führte mehrere Runden von Prozessvalidierungen und Leistungstests durch, um die nachfolgende Prozessentwicklung des Kunden umfassend zu unterstützen.

03 Umfassende Ausrüstungskompetenz zur Förderung der industriellen Umsetzung

Auf Grundlage langjähriger Erfahrung im Bereich der Präzisionsbeschichtung baut MANST sein Produktportfolio kontinuierlich aus. Für Bereiche wie Perowskit-Solarzellen, Halbleiter-Plattenverpackung und Display-Panels entwickelt das Unternehmen umfassende Lösungen für die Beschichtungstechnik – von Laborforschung und Pilotvalidierung bis hin zur großtechnischen Produktion. Entsprechende Beschichtungsanlagen wurden bereits in zahlreichen Projekten ausgeliefert und validiert.

Zukünftig wird MANST weiterhin auf eigenständige Innovation setzen und das System der Präzisionsbeschichtungsanlagen weiter vervollständigen. Mit stabileren, effizienteren und intelligenteren Lösungen unterstützt das Unternehmen die hochwertige Entwicklung der globalen Display- und erweiterten Halbleiterindustrie.